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1.  

   ?化學氣相沉積?：高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積，作為氧化源與產生高純水的反應劑，以及干法氧化等。

2.  

   ?冶金工業?：在冶金工業中，高純氧用于煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。

3.  

   ?電子工業?：高純氧在電子工業中用于制造性能優異的燃料電池、鋼材激光切割以及大規模集成電路的制造等。

4.  

   ?醫療保健?：高壓氧治療在醫學領域有廣泛應用，包括治療一氧化碳中毒、潛水減壓病等急性缺氧性疾病，以及促進慢性疾病愈合、神經康復等。

5.  

   ?其他應用?：高純氧還用于水質處理、光導纖維制造、半導體工業、特殊儀器制造等領域。

?安全注意事項?：使用高純氧氣時應注意安全，做好防震、防火、防熱、防油等工作，以防止意外發生。

綜上所述，高純氧的應用范圍廣泛，從工業生產到醫療保健都有其獨特的價值。然而，由于其高度的氧化性和助燃性，使用過程中必須嚴格遵守安全操作規程，以確保安全使用。